Arbeitsgebiete
Ionenstrahl- und Plasmabearbeitungsverfahren sind zur Formkorrektur bzw. Formgebung auf großen Flächen (cm² … m²) mit Tiefengenauigkeiten im Nanometer- und Ortsauflösungen im Millimeterbereich sowie zur Rauhigkeitsreduzierung auf Subnanometer - RMS - Werte geeignet.
